Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

常壓電漿表面處理裝置

內容簡介

常壓電漿表面處理裝置取代以往的UV Lamp方式,具有高性能改質效果,並有助於降低運行成本。對於處理中基板的誘導電壓可以抑制至逼近零伏特之故,不會影響晶體管特性。
除了處理性能及Running Cost 方面的優勢,可取UV Lamp Process。另外以更換處理氣體的方式,可以進行潑水處理、乾燥後不會留下水痕的常溫精密乾燥、還元處理、滅菌、殺菌處理,這可取代一部分的真空Plasma ,並且可以進行連續處理的最低成本之方式。

Description

用途:

  1. Initial洗淨前
  2. 精密洗淨前
  3. Resist Coat前
  4. ITO Sputter前
  5. Wet Etching前
  6. PI Coat前
  7. Overcoat前
  8. 洗淨後的精密乾燥
  9. 其他(Film相關製程等)

規格:

可依客戶需求

產品聯絡人

楊育晴

設備營二部
專案副理

崇越科技股份有限公司

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