Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

常壓電漿表面處理裝置

內容簡介

常壓Plasma方式取代以往採用 UV Lamp 清潔方式( Excimer UV),具有高性能(約Excimer的4倍)表面改質效果,並有助於降低running cost成本。

說明

◆ 增加基板最初洗淨、精密洗淨效率的提升及密著性的提升
◆ 由於不發塵最適合為提升次工程 ( ITO、PI、光阻塗佈製程前) 高附著性表面改質
◆ 因處理後表面均一化,可加快顯影液、蝕刻藥液、去光阻液等的初期反應,有效提升處理一致性及處理速度
◆ 非接觸式低溫處理清潔,對產品表面不會造成傷害 (與UV、EUV相同程度),故對裝置無不良影響
◆ 安裝在各製程間,可有效去除表面有機污染層
◆ 處理過程中,對於基板表面不會產生電位及靜電
◆ 無靜電放電 (處理後的ESD值為0~50V以內,由於正、負離子的產生,故處理前不需要負離子空氣淨化器裝置,使基板為不帶電)

規格:

G5基板尺寸1100mm版寬,機台參考外觀尺寸 (L 1500mm *W 620mm *H 750mm) ; 可視客戶各世代玻璃尺寸對應。

產品聯絡人

楊育晴

設備營二部
專案副理

崇越科技股份有限公司

744094 台南市新市區台南科學園區創業路8號 1樓
TEL: (06)505-8940 ext.6181
e-mail: yu.ching.yang@topco-global.com

提醒

本網站不支援您所使用的瀏覽器

為了提供您最佳的網站體驗,
請您改用下列幾種瀏覽器瀏覽本網站,謝謝您的合作。