Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

Cassette & 光罩盒

內容簡介

Fab內承載、傳送和保護產品的容器,主要應用於矽晶圓 (Wafer) 與光罩 (Photomask) 製程上的傳輸與儲存。

適用於 :

  • 50mm~300mm 矽晶圓製程
  • 6吋光罩製程

Description

Cassette

廣泛使用於晶圓廠、IC 廠和二極體廠等,在無塵室內承載 2 吋至 12 吋晶圓並配合生產機台,為避免手直接接觸到晶圓,使晶圓或產品造成污損,將晶圓放入晶舟內,再放置在機台上。

光罩盒

提供客戶在生產與製作 6 吋光罩時良好的儲存與保護環境。

  • Low outgas & low inorganic ion
  • ESD safe
  • Visibility of Reticle
  • Particle performance

規格:

Cassette材質說明 :

  • 一般傳送 : PP, PBT Cassette
  • 酸槽、清洗專用 : PFA Cassette
  • 高溫專用 : PFA, PEI, PEEK, Alumina Cassette

光罩盒材質說明 :

  • PC Blended Carbon

產品聯絡人

蘇信宇

工整營一部
業務經理

崇越科技股份有限公司

300096 新竹市科學園區工業東九路12號6樓
TEL: (03)564-2132 ext.3363
e-mail: hsinyu.su@topco-global.com

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