說明

用途：

Oxide Slurry: PL-4101(STI)、 PL-4217系列(IMD)、PL-4219
Poly Slurry: PL-6103、PL-6108
W Slurry: PL-5201、PL-5107、PL-5111
Cu Slurry: PL-7102、PL-7104、PL-8105、PL-8110
TSV Slurry : DCM-B70
Reclaim Slurry : GL-3108

規格：

Drum Type: 220 kg
Bottle Type: 20 kg
Silica Base
Warranty: 1 year life time
Temperature: 0~43℃