Description

詳細說明：

本公司代理日本Fujimi Inc.全系列CMP Slurry，應用在半導體CMP中Oxide/Poly/W/Cu等製程，以達到最佳平坦化的要求。

用途：

Oxide Slurry:PL-4101(STI),PL-4217系列(IMD)
Poly Slurry:PL-6103
W Slurry:PL-5201/PL-5107
Cu Slurry:PL-7102/PL-7104

規格：

Drum Type: 220Kg
Bottle Type: 20Kg
Silica Base
Warranty: 1 year life time
Temperature: 0~43 Degree C.