Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

爐管石英

內容簡介

高純度且高耐熱的爐管石英,由崇越石英提供,應用於擴散製程中,主要以高溫反應、氣體輸入、裝載晶圓等用途。

說明

TUBE

  • 主要用火加工,石英產品裝在擴散爐管製程,加工製成需求大小,設備商主要以TEL、KE、ASM為大宗

BOAT

  • 利用NC切溝機進行溝槽加工,三維檢查確認溝槽大小
  • 加工精密程度高,針對平行度、垂直度嚴加管控減少製程上的誤差

others

  • 石英噴嘴(Quartz Injector)、石英板(Quartz plate)等各種石英製品

規格:

依客戶的需求訂製生產。

產品聯絡人

兵岳龍

半導體事業部
資深協理

崇越科技股份有限公司

303035 新竹縣湖口鄉新竹工業區文化路8號
TEL: (03)598-4282 ext.582
e-mail: steven.pin@topco-global.com

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