描述
用途：
- 無塵室內承載12吋Wafer的容器；
- 無塵室內保護12吋產品，防塵所需容器；
- 搭配自動化系統，傳送Wafer到生產設備端所需之容器 。
規格：
Capacity: 25 wafers
Dimension: W426mm*L347mm*H338mm
Weight: 4.6kg
SEMI Std: Compliant(E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)
Options: Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.
