Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

12 inch wafer載具(FOUP)

內容簡介

可保護、運送、並儲存 12 吋 Wafer,Shin-Etsu Polymer 保護 Wafer 在廠內之間之運輸傳遞,提供安全防護並有效降低晶圓受到微塵汙染的風險。

Description

  • 無塵室內承載 12 吋 Wafer 的容器
  • 無塵室內保護 12 吋產品,並防塵之容器
  • 搭配自動化系統,傳送 Wafer 到生產設備端之容器 。

規格:

Capacity : 25 pcs/set

Weight : 4.6kg/set

Dimension : W426mm x L347mm x H338mm

Shell : Conductive PC, PBT&PC (Rear Window)

Door (Inside) : PC Alloy

Door (Outside) : PC

SEMI Standard : Compliant (E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)

Options : Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.

產品聯絡人

陳裕憲

工整營二部
業務經理

崇越科技股份有限公司

300096 新竹市科學園區工業東九路12號6樓
TEL: (03)564-2132 ext.3324
e-mail: mark.chen@topco-global.com