說明

• 無塵室環境內承載 12 吋晶圓之製程容器。
• 無塵室環境內儲存、防塵並保護12 吋晶圓之製程容器。
• 可搭配自動化系統，運送12 吋晶圓到各生產設備端之製程容器。
• 搭配導風管 (Diffuser) 提供被充氣功能，延長Q-time 以滿足客戶先進製程日趨嚴謹之潔淨度要求。

規格：

Capacity : 25 pcs/set

Weight : 4.6kg/set

Dimension : W426mm x L347mm x H338mm

Shell : Conductive PC, PBT＆PC (Rear Window)

Door (Inside) : PC Alloy

Door (Outside) : PC

SEMI Standard : Compliant (E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)

Options : Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.