Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

常压电浆表面处理装置

内容简介

常压电浆表面处理装置取代以往的UV Lamp方式,具有高性能改质效果,并有助于降低运行成本。对于处理中基板的诱导电压可以抑制至逼近零伏特之故,不会影响晶体管特性。
除了处理性能及Running Cost 方面的优势,可取UV Lamp Process。另外以更换处理气体的方式,可以进行泼水处理、干燥后不会留下水痕的常温精密干燥、还元处理、灭菌、杀菌处理,这可以取代一部分的真空Plasma ,并且可以进行连续处理的最低成本之方式。

描述

用途:

  1. Initial洗净前
  2. 精密洗净前
  3. Resist Coat前
  4. ITO Sputter前
  5. Wet Etching前
  6. PI Coat前
  7. Overcoat前
  8. 洗净后的精密干燥
  9. 其他(Film相关制程等)

规格:

可依客戶需求

产品联络人

杨育晴

机械营业部
专案副理

崇越科技股份有限公司

74144 台南市新市区台南科学园区创业路8号 1楼
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