Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
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Execution

ArF光阻液

内容简介

微影制程中的感光物质,主要目的是将光罩上的图像转印至硅芯片中,KrF的光阻呈黄色,性油。对193nm波长的光有很好的吸收与反应力。

描述

详细说明:

微影制程中的感光物质,主要目的是将光罩上的图像转印至硅芯片中,KrF的光阻呈黄色,性油。对193nm波长的光有很好的吸收与反应力。

用途:

微影(黄光)制程

规格:

容量单位:加仑
材质为棕色的玻璃瓶,
另有厂商使用NowPac的包装
常温保存
保稅商品