说明

详细说明：

微影制程中的感光物质，主要目的是将光罩上的图像转印至硅芯片中，KrF的光阻呈黄色，性油。对193nm波长的光有很好的吸收与反应力。

用途：

微影(黄光)制程

规格：

容量单位：加仑
材质为棕色的玻璃瓶，
另有厂商使用NowPac的包装
常温保存
保稅商品