Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

Cassette & 光罩盒

内容简介

Fab内承载、传送和保护产品的容器,主要应用于矽晶圆 (Wafer) 与光罩 (Photomask) 制程上的传输与储存。
适用于 :

  • 50mm~300mm 矽晶圆制程
  • 6 吋光罩制程

说明

Cassette 

广泛使用于晶圆厂、IC 厂和二极体厂等,在无尘室内承载 2 吋至 12 吋晶圆并配合生产机台,为避免手直接接触到晶圆,使晶圆或产品造成污损,将晶圆放入晶舟内,再放置在机台上。

光罩盒

提供客户在生产与制作 6 吋光罩时良好的储存与保护环境。

  • Low outgas & low inorganic ion
  • ESD safe
  • Visibility of Reticle
  • Particle performance

规格:

Cassette材质说明与型录 :

  • 一般传送 : PP, PBT Cassette
  • 酸槽、清洗专用 : PFA Cassette
  • 高温专用 : PFA, PEI, PEEK, Alumina Cassette

光罩盒材质说明 :

  • PC Blended Carbon

产品联络人

苏信宇

工整营一部
专案经理

崇越科技股份有限公司

300096 新竹市科学园区工业东九路12号6楼
TEL: (03)564-2132 ext.3363
e-mail: hsinyu.su@topco-global.com

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