描述
用途：
Hugle UPC-12100是采用D.I water超音波震荡喷嘴的自动的300mm FOUP清洗系统与支援0HT / RGV的自动运输系统SECS II protocol。 这是富有丰富经历和技术的Hugle electronic清洗系统里的新开发。
- 磊芯片基板
- 高亮度LED芯片基板
规格：
- 2″晶圓
- 客制化规格
适合制作高质量磊芯片及作为高亮度芯片的接合基板
Hugle UPC-12100是采用D.I water超音波震荡喷嘴的自动的300mm FOUP清洗系统与支援0HT / RGV的自动运输系统SECS II protocol。 这是富有丰富经历和技术的Hugle electronic清洗系统里的新开发。
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