描述
特性：
- 减少需定期外送清洗的成本
- 降低洁净室污染风险以符合先进制程要求
- 清洗流程可依不同产品分别设定且流程控制稳定
- 清洗纪录完整保留
用途：
主要应用于石英内/外管清洗上。
规格：
可依客户需求调整
完善的旋转机构以符合清洗不留死角的设计，并于清洗过程中无需搬动被洗件，才能减少人员接触酸液次数。
主要应用于石英内/外管清洗上。
可依客户需求调整
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半导体营一
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