Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
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Execution

IC光罩保护膜

内容简介

光罩保护膜为透光度极高光学产品,用以防止异物黏附于光罩上,造成黄光制程之瑕疵。

描述

用途:

  • 保护光罩。
  • 防止异物入侵。
  • 光反应化学安定。

规格:

  • 单位:片
  • 透光度:大于99.0%
  • 6吋高阶光罩使用(KrF/ArF制程)。

产品联络人

陈羿蓁

先材事业一部
专案经理

崇越科技股份有限公司

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