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微影制程中的感光物质,主要目的是将光罩上的图像转印至硅芯片中,KrF的光阻呈黄色,性油。对248nm波长的光有很好的吸收与反应力。
微影(黄光)制程
容量单位:加仑 材质为棕色的玻璃瓶,另有厂商使用NowPac的包装 常温保存 保稅商品