Integrative
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Quality
Advanced
Production
Execution

光罩基板

内容简介

生产芯片的模具称为光罩。当IC设计公司设计出一款芯片电路图之后,光罩公司制作成光罩,再送至晶圆代工厂进行晶圆代工,封装、测试后,便成为一颗颗的IC芯片。而制作光罩的基础材料,即光罩基板(Mask Blanks)。最主要的产品依基板特性分为Binary及Half-Tone(KrF/ArF)两种,若再依所涂布的光阻分类,可再细分成Optical resist及E-Beam resist等两种。

描述

详细说明:

生产芯片的模具称为光罩。当IC设计公司设计出一款芯片电路图之后,光罩公司制作成光罩,再送至晶圆代工厂进行晶圆代工,封装、测试后,便成为一颗颗的IC芯片。而制作光罩的基础材料,即光罩基板(Mask Blanks)。最主要的产品依基板特性分为Binary及Half-Tone(KrF/ArF)两种,若再依所涂布的光阻分类,可再细分成Optical resist及E-Beam resist等两种。

用途:

功能类似相片之底片,将图形转印至Wafer上。

规格:

  1. 6025 Binary Blanks
  2. 6025 Half-Tone Blanks
  3. EB-Positive CAR
  4. EB-Negative CAR