Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

炉管石英

内容简介

高纯度且高耐热的炉管石英,由崇越石英提供,应用于扩散制程中,主要以高温反应、气体输入、装载晶圆等用途。

Description

TUBE

  • 主要用火加工,石英产品装在扩散炉管制程,加工制成需求大小,设备商主要以TEL、KE、ASM为大宗

BOAT

  • 利用NC切沟机进行沟槽加工,三维检查确认沟槽大小
  • 加工精密程度高,针对平行度、垂直度严加管控减少制程上的误差

others

  • 英喷嘴(Quartz Injector)、石英板(Quartz plate)等各种石英制品

规格:

依客户的需求订制生产。

产品联络人

兵岳龙

半导体事业部
资深协理

崇越科技股份有限公司

303035 新竹县湖口乡新竹工业区文化路8号
TEL: (03)598-4282 ext.582
e-mail: steven.pin@topco-global.com