说明

• 无尘室环境内承载 12 吋晶圆之制程容器。
• 无尘室环境内储存、防尘并保护12 吋晶圆之制程容器。
• 可搭配自动化系统，运送12 吋晶圆到各生产设备端之制程容器。
• 搭配导风管(Diffuser)提供被充气功能，延长Q-time 以满足客户先进制程日趋严谨之洁净度要求。

規格：

Capacity : 25 pcs/set

Weight : 4.6kg/set

Dimension : W426mm x L347mm x H338mm

Shell : Conductive PC, PBT＆PC (Rear Window)

Door (Inside) : PC Alloy

Door (Outside) : PC

SEMI Standard : Compliant (E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)

Options : Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.