Integrative
Capabilities
Quality
Advanced
Production
Execution

TMA

内容简介

三甲基铝是一个化合物,化学式是Al2(CH3)6, 可以缩写为Al2Me6、(AlMe3)2或者 TMA

说明

一种自燃的无色液体,在工业上是很重要的有机铝化合物。它的蒸气散发到空气中后会产生白烟(氧化铝)。 TMA 是有机金属化学气相沉积法(MOVPE)制造含铝半导体(如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等)中有机金属的重要来源。

产品联络人

吴逸民

高材营一部
资深经理

崇越科技股份有限公司

300096 新竹市科学园区工业东九路12号6楼
TEL: (03)564-2132 ext.3315
e-mail: dino.wu@topco-global.com

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