光罩储存柜
直接充气式光罩柜
- 适用于 EUV POD、RSP-200、RSP-150
- 可使用 N2 or XCDA 进行充气物料控管系统
无尘氮气光罩柜
- 适用于 RSP-200、RSP-150、光罩传送盒
- 高度洁净柜设计
- 物料控管系统
产品说明
产品特色与优点
直接充气式光罩柜
- 直接充气可有效保证光罩盒内部洁净度与湿度。
- 取下光罩时停止供气，达到绿能节能。
- 数位流量控制，可精准控制 Purge 流量，并即时读取流量与温溼度。
- 高度客制化，可配合客户需求调整配置。
- 自行开发软体、硬体与系统，内部元件模组化设计，可快速调整配置与方便维护。
无尘氮气光罩柜
- 可对应多种不同产品。
- 可依照客户需求高度客制化，包含柜体尺寸、储放产品种类、物料控管模式等。
- FFU + 内循环设计，可提高柜体内部洁净度。
- 多种选配项目，可配合客户需求设计。
应用说明
- EUV 光罩柜贩售实绩
- RSP-200 直接充气、储存柜
- RSP-150 储存柜
- 光罩传送盒储存柜
- 光罩搬运货架
- RF-ID 物料控管
- Barcode 物料控管