设备及零件>设备Wafer/FOPLP 载具清洗设备Wafer/FOPLP 载具清洗设备 产品说明产品联络人产品说明 可设计复合式清洗功能。 有效清洁残留于载具上VOC。 可增加侦测湿度功能,达成清净效果。 指向式清洗。 快速吹干功能。 使用最新六轴手臂,具备工业模式与协作模式,使用上更安全。 新版夹取设计,在夹取产品时拥有更好的稳定性。 产品联络人刘志盛崇越科技股份有限公司部经理设备营二部TEL: (03)563-1717 ext.328sam.liu@topco-global.com