光罩儲存櫃
直接充氣式光罩櫃
- 適用於 EUV POD、RSP-200、RSP-150
- 可使用 N2 or XCDA 進行充氣物料控管系統
無塵氮氣光罩櫃
- 適用於 RSP-200、RSP-150、光罩傳送盒
- 高度潔淨櫃設計
- 物料控管系統
Production Intro
產品特色與優點
直接充氣式光罩櫃
- 直接充氣可有效保證光罩盒內部潔淨度與濕度。
- 取下光罩時停止供氣，達到綠能節能。
- 數位流量控制，可精準控制 Purge 流量，並即時讀取流量與溫溼度。
- 高度客製化，可配合客戶需求調整配置。
- 自行開發軟體、硬體與系統，內部元件模組化設計，可快速調整配置與方便維護。
無塵氮氣光罩櫃
- 可對應多種不同產品。
- 可依照客戶需求高度客製化，包含櫃體尺寸、儲放產品種類、物料控管模式等。
- FFU + 內循環設計，可提高櫃體內部潔淨度。
- 多種選配項目，可配合客戶需求設計。
應用說明
- EUV 光罩櫃販售實績
- RSP-200 直接充氣、儲存櫃
- RSP-150 儲存櫃
- 光罩傳送盒儲存櫃
- 光罩搬運貨架
- RF-ID 物料控管
- Barcode 物料控管