崇越携手清华半导体学院 深化产学链结、厚植台湾半导体人才
为强化台湾半导体人才培育与前瞻研究能量,崇越科技今(16)日于台北内湖总部捐赠三座半导体模型予国立清华大学半导体研究学院,协助教学展示与研究推广。同时,由崇越科技董事长潘重良与清华半导体研究学院院长 被誉为「浸润式微影之父」的林本坚博士共同签署合作意向书,─宣布双方将展开更深度的产学链结,携手培育下一代高阶半导体科技人才。
半导体是国家战略产业,而人才更是维持竞争力的关键。林本坚院长指出,清华半导体学院整合清华教学与研究资源,以打造「国际领先的半导体研究重镇」为目标。面对全球半导体技术快速迭代、跨领域整合与供应链竞争升高,此次携手崇越科技,有助加速推动产学协作,增强台湾在先进制程与材料领域的人才与研究能量。
林本坚院长以突破性「浸润式微影技术」享誉国际,将曝光介质从干式微影的「空气」,改以「纯水」取代,突破解析度极限,使摩尔定律在 45 奈米世代后得以延续。崇越科技亦参与了这场浸润式微影技术革命,因应客户制程需求,与客户、日本信越化学三方合作,从材料端着手,精准调校纯水在光阻表面的接触角、控制光阻的表面张力、优化防水层的特性,并降低浸润制程中可能造成的离子迁移与缺陷问题,最终成功开发出可支援浸润式微影量产的光阻材料。崇越科技董事长潘重良分享:「半导体材料虽然微小,但往往是推进一个制程世代、甚至改写技术路线的关键。」
未来五年,崇越科技预计每年投入 300 万元贊助清华半导体学院,期待未来与清华半导体学院于材料开发、制程技术研发能有更深入的合作,进一步强化台湾的半导体自主创新能力。
崇越科技捐赠之三座半导体模型,将提供清华半导体学院于教学展示与对外推广。三座模型呈现晶圆厂实际设计的立体架构;以及各项厂务运作系统模型,包括无尘室、机电空调、超纯水、气体供应、化学品供应、废水与废气处理系统等;并透过拟真模型展示无尘室内的环境,与扩散、微影、蚀刻、清洗、薄膜沉积、CMP、离子植入等主要制程设备,有助学生与参访者更直观理解晶圆建厂、制程流程、设备运作及材料应用。
崇越集团副董事长暨崇越科技永续长赖杉桂博士表示,此次捐赠的半导体模型,展现崇越多年深耕半导体材料、设备及厂务系统的实务经验。未来崇越科技将持续透过教育支持、技术合作与研发投入善尽企业社会责任,期望与清华半导体学院共同培育更多优秀半导体人才、创造永续价值。
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