晶圆载具 ( Cassette )
Fab内承载、传送和保护产品的容器，主要应用于硅晶圆 (Wafer) 制程上的传输与储存。适用于 : 50mm~300mm 硅晶圆制程。
产品说明
Cassette
广泛使用于晶圆厂、IC 厂和二极体厂等，在无尘室内承载 2 吋至 12 吋晶圆并配合生产机台，为避免手直接接触到晶圆，使晶圆或产品造成污损，将晶圆放入晶舟内，再放置在机台上。
规格
- 一般传送 : PP, PBT Cassette
- 酸槽、清洗专用 : PFA Cassette
- 高温专用 : PFA, PEI, PEEK, Alumina Cassette
