炉管石英

TUBE

• 主要用火加工，石英产品装在扩散炉管制程，加工制成需求大小，设备商主要以TEL、KE、ASM为大宗

BOAT

• 利用NC切沟机进行沟槽加工，三维检查确认沟槽大小
• 加工精密程度高，针对平行度、垂直度严加管控减少制程上的误差

OTHERS

• 石英喷嘴(Quartz Injector)、石英板(Quartz plate)等各种石英制品

规格

依客户的需求订制生产。