水平、垂直式石英清洗机
供应商 First Exa 提供完善的旋转机制以符合不留死角的清洗设计，并于清洗过程中无需搬动被洗物件，自动完成整个清洗过程，减少人员接触酸液次数。
产品说明
种类
- 水平式：依照需求放入 HF 浓度约 5~20% 的酸槽中，透过浸泡 HF 来清洗石英内/外管、容器等，再用蒸馏水充分清洗使其干燥
- 垂直式：设计旋转机构反覆沖洗，保证石英管的清洗符合不留死角的清洗设计
特点
- 减少定期外送清洗的成本
- 降低洁净室污染风险以符合先进制程要求
- 清洗流程可依不同产品分别设定且流程控制稳定
- 完整保留清洗纪录
规格
- 可依客户的需求调整
