化学品>光阻KrF光阻液微影制程中的感光物质,主要目的是将光罩上的图像转印至硅晶片中,KrF的光阻呈黄色。对248nm波长的光有很好的吸收与反应力。 产品说明产品联络人其他相關產品产品说明用途 微影(黄光)制程 规格 容量单位:加仑 材质为棕色的玻璃瓶,另有厂商使用NOWpak的包装 冷藏保存 保税商品 产品联络人陈立偉崇越科技股份有限公司协理先材事业三部114511台北市内湖区堤顶大道二段483号TEL: (02)8797-8020 ext.2739lw.chen@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光阻黏着增强剂光罩基板ArF光阻液10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon1.25% Kr/Ne