NF3

三氟化氮（NF₃）是卤化氮中最稳定的，可在钙的催化下由氨气与氟气制成。它可以用作氟化氢雷射器的氧化剂，半导体、液晶和薄膜太阳能电池生产过程中的蚀刻剂。