再生晶圆

将使用过的晶圆回收，再次接受与生产晶圆时相同等级的制程与品管，让再生晶圆的洁净度与平坦度，几乎与原始的档控晶圆同样优良。因此再生晶圆不但可替代部份档控片，甚至可用至高温的炉管。