碳化硅/氮化铝 磊晶晶圆

规格

• 碳化硅磊晶晶圆：
  • 4吋、6吋
• 氮化铝磊晶晶圆：
  • 4吋(碳化硅基板)
  • 6吋(硅基板)、6吋(碳化硅基板)、6吋(陶瓷基板)
  • 8吋(硅基板)、8吋(陶瓷基板)