Wet Bench 300mm 矽晶圓洗淨機
300mm矽晶圓洗淨機具有Cassette-Less操作與全自動化運作，可執行Wet-In/Dry-Out與Dry-In/Dry-Out作業模式，讓客戶實現大量生產的成果。
Production Intro
產品型式與特點
- 用於小呎吋~300mm 晶圓之各種槽式矽晶圓洗淨機(Cassette-Less、Cassette)。
- 50-wafer half pitch/batch生產能力。
- 洗淨設備之規格與設計高度客製化。
完全客製化的清洗設備，能按客戶需求做槽體靈活配置，以滿足客戶對於不同洗淨規格的要求。
Product Contact
Hsin-Yu Su
- TOPCO SCIENTIFIC CO.,LTD.
- Project Manager
- Sales Dept. I, Engineering Integration Div., 5th Business Unit
6F., No. 12, Industry E. 9th Rd., Science based Industrial park, Hsinchu City 300096, Taiwan
TEL: (03)564-2132 ext.3363