Wet Bench 300mm 矽晶圓洗淨機
300mm矽晶圓洗淨機具有Cassette-Less操作與全自動化運作，可執行Wet-In/Dry-Out與Dry-In/Dry-Out作業模式，讓客戶實現大量生產的成果。
產品說明
產品型式與特點
- 用於小呎吋~300mm 晶圓之各種槽式矽晶圓洗淨機(Cassette-Less、Cassette)。
- 50-wafer half pitch/batch生產能力。
- 洗淨設備之規格與設計高度客製化。
完全客製化的清洗設備，能按客戶需求做槽體靈活配置，以滿足客戶對於不同洗淨規格的要求。