12吋晶圆制程盒 (FOUP)
在12吋晶圆厂中，Shin-Etsu Polymer (SEP) 12吋晶圆制程盒扮演着晶圆承载、传送及储放功能，提供晶圆高效能防护，以确保制程中之晶圆不受微尘粒子污染。另有搭配导风管 (Diffuser) 提供被充气功能，可快速且均匀将溼气赶出，使晶圆制程盒 (FOUP) 内部维持在低溼度的洁净环境，符合先进制程日趋严谨之洁净度要求。
产品说明
- 无尘室环境内承载 12 吋晶圆之制程容器。
- 无尘室环境内储存、防尘并保护12 吋晶圆之制程容器。
- 可搭配自动化系统，运送12 吋晶圆到各生产设备端之制程容器。
- 搭配导风管 (Diffuser) 提供被充气功能，延长Q-time 以满足客户先进制程日趋严谨之洁净度要求。
规格
- Capacity : 25 pcs/set
- Weight : 4.6kg/set
- Dimension : W426mm x L347mm x H338mm
- Shell : Conductive PC, PBT＆PC (Rear Window)
- Door (Inside) : PC Alloy
- Door (Outside) : PC
- SEMI Standard : Compliant (E47.1, E1.9, E15.1, E57, E62 and S8)
- Options : Conductive side rails, Bar code & RF ID Tag holder, UV cut window & Card Case.
