12吋晶圆制程盒 (FOUP)
在12吋晶圆厂中,Shin-Etsu Polymer (SEP) 12吋晶圆制程盒扮演着晶圆承载、传送及储放功能,提供晶圆高效能防护,以确保制程中之晶圆不受微尘粒子污染。另有搭配导风管 (Diffuser) 提供被充气功能,可快速且均匀将溼气赶出,使晶圆制程盒 (FOUP) 内部维持在低溼度的洁净环境,符合先进制程日趋严谨之洁净度要求。
在12吋晶圆厂中,Shin-Etsu Polymer (SEP) 12吋晶圆制程盒扮演着晶圆承载、传送及储放功能,提供晶圆高效能防护,以确保制程中之晶圆不受微尘粒子污染。另有搭配导风管 (Diffuser) 提供被充气功能,可快速且均匀将溼气赶出,使晶圆制程盒 (FOUP) 内部维持在低溼度的洁净环境,符合先进制程日趋严谨之洁净度要求。