FOUP/FOSB cleaner
用于300mm 晶圆传输载具FOUP与FOSB的精密洗净所开发设备，设备结合了晶圆载具清洁时所需的各种技术与Know-How。
产品说明
产品型式与特点
全自动FOUP/FOSB Cleaner：专利的真空干燥技术实现了FOUP/FOSB清洗后达到完全干燥效果。
槽式FOUP/FOSB Cleaner：
通过使用高性能清洗剂的喷头清洗、利用air blow方式除水干燥，并且实现了高生产效率。除了FOSB/FOUP以外，Open Cassette、SMIF Pod等其他容器也能发挥相同的清洗效能。
产品规格
依照客户需求设计与调整。