FOUP/FOSB cleaner
用於300mm 晶圓傳輸載具FOUP與FOSB的精密洗淨所開發設備，設備結合了晶圓載具清潔時所需的各種技術與Know-How。
產品說明
產品型式與特點
全自動FOUP/FOSB Cleaner：專利的真空乾燥技術實現了FOUP/FOSB清洗後達到完全乾燥效果。
槽式FOUP/FOSB Cleaner：
通過使用高性能清洗劑的噴頭清洗、利用air blow方式除水乾燥，並且實現了高生產效率。除了FOSB/FOUP以外，Open Cassette、SMIF Pod等其他容器也能發揮相同的清洗效能。
產品規格
依照客戶需求設計與調整。