光罩及载具>光罩IC光罩保护膜光罩保护膜为透光度极高光学产品，用以防止异物黏附于光罩上，造成黄光制程之瑕疵。 产品说明产品联络人其他相關產品产品说明用途 保护光罩 防止异物入侵 光反应化学安定 规格 单位：片 透光度：大于99.0% 6吋高阶光罩使用(KrF/ArF制程) 产品联络人陈羿蓁崇越科技股份有限公司部经理先一营二部114511台北市内湖区堤顶大道二段483号TEL: (02)8797-8020 ext.2725nina.chen@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光阻黏着增强剂光罩盒 ( RSP )光罩基板10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon1.25% Kr/Ne
