光罩及载具>光罩载具光罩盒 ( RSP )Fab内承载、传送和保护产品的容器,主要应用于光罩 (Photomask) 制程上的传输与储存。适用于 : 6吋光罩制程。 产品说明产品联络人其他相關產品产品说明提供客户在生产与制作 6 吋光罩时良好的储存与保护环境。 Low outgas & low inorganic ion ESD safe Visibility of Reticle Particle performance 规格 PC Blended Carbon 产品联络人陈裕宪崇越科技股份有限公司部经理工整营二部TEL: (03)564-2132 ext.3324mark.chen@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光阻黏着增强剂光罩基板KrF光阻液IC光罩保护膜1.25% Kr/Ne