奈米压印设备

奈米压印技术（Nanoimprint lithography, NIL) 是一种适用于制造10nm-10um尺度微细结构的技术。以低成本，高产出的优势被广泛应用于光学，生物检测，半导体制造等领域。如今，有越来越多来自于企业研发和学校研究方面对于NIL装置的购买需求。

SCIVAX公司开发了革命性的新概念应对NIL领域内不同工艺的需要，从超过1000个的委托案件得来的经验让我们可以给客户全方位的支持。从用于研发和少量生产的手动机型RubiQ®到适用于大量生产的自动化装置Dyad®，SCIVAX的设备可以满足客户不同的需求。

Features

• SCIVAX的NIL技术可以有效的将压印过程中造成的结购失真减低至同类型产品的1/100，这种优势在AR/VR等应用领域（例如AR波导的制造）有巨大的价值。
• SCIVAX的FLAN式设备可以有效将压印成型中对基板的压力减到最小，让化合物半导体等易碎基板上的工艺可以顺利实施。

• 通过添加不同的模组，SCIVAX提供了各种客制化设备满足客户的不同需要。

	RubiQ® 紧凑型尺寸：W500×D700×H1800(mm), UV光源特性：200mm W/cm2~@365nm 最大使用尺寸：φ100mm （不久的未来将扩展至φ200mm） SCIVAX 还提供各种客制化模组以满足不同NIL的需求： 固化方式：UV / 加热 加压方式：平行平板 / FLAN(空气加压，SCIVAX专利专数) 其他：自动化工程 / 自动离型 / 高效过滤网, 离子吹风 / 其他：自动化工程 / 自动动离型 / 高效过滤网, 离子吹风 / 高强度UV LED模组 / 高真空控制 (50Pa-)
	Dyad® 200 全自动化NIL机台,TAZMO与SCIVAX合作生产 功能包括：涂胶，烘烤，冷却，压印复制，FOUP方式传送