有机溶剂回收系统

有机溶剂回收系统在UMC及PSC等半导体厂，主要将制程使用过之含有90wt%左右的有机溶剂，经过回收精制去除水份及金属离子后，将纯度提高至99.90-99.92wt%，持续供应回制程使用。

优点

1. 节省成本。
2. 减少废溶剂量。
3. 增加安全性。
4. 减少溶剂存量。
5. 简化操作。
6. 稳定的制程含水率。

特性

1. 精巧的系统。（採用高蒸发性薄膜）
2. 高性能的陶瓷薄膜。（热阻抗及化学阻抗）
3. 高安全性。
4. 省电系统。（与蒸馏法比较）
5. 环保。
6. 适用于多种溶剂。（例如：醇、酮、酯等）

用途

• 半导体或LCD厂使用过之IPA、DMSO、Aceton、ETOH等有机溶剂液体回收再使用。

规格

• D12S111 2800×800×1700
• D16S211 2800×800×1700
• D24S222 2800×800×1700