再生碳化硅晶圆
不论抛光、磊晶、半导体制程不良之碳化硅晶圆，皆可藉由再生制程将表面缺陷及元件移除，回復至可重新磊晶品质。
产品说明
供应有4吋及6吋N型及半绝缘型SiC晶圆，依客户需求及主要规格， THK (厚度)、particle及表面金属含量来提供客户所需之再生晶圆片。
不论抛光、磊晶、半导体制程不良之碳化硅晶圆，皆可藉由再生制程将表面缺陷及元件移除，回復至可重新磊晶品质。
供应有4吋及6吋N型及半绝缘型SiC晶圆，依客户需求及主要规格， THK (厚度)、particle及表面金属含量来提供客户所需之再生晶圆片。