化学品>光阻ArF光阻液微影制程中的感光物质,主要目的是将光罩上的图像转印至硅晶片中,ArF的光阻呈黄色。对193nm波长的光有很好的吸收与反应力。 产品说明产品联络人其他相關產品产品说明用途 微影(黄光)制程 规格 容量单位:加仑 材质为棕色的玻璃瓶,另有厂商使用NOWpak的包装 冷藏保存 保税商品 产品联络人王光锐崇越科技股份有限公司协理先材事业二部114511台北市内湖区堤顶大道二段483号TEL: (02)8797-8020 ext.2746terry.wang@topco-global.com其他相關產品高效能厚膜光阻液光罩盒 ( RSP )光罩基板KrF光阻液IC光罩保护膜10ppm Xenon/3.5% Argon/Balance Neon