設備及零件>設備Wafer/FOPLP 載具清洗設備Wafer/FOPLP 載具清洗設備 產品說明產品聯絡人產品說明 可設計複合式清洗功能。 有效清潔殘留於載具上VOC。 可增加偵測濕度功能,達成清淨效果。 指向式清洗。 快速吹乾功能。 使用最新六軸手臂,具備工業模式與協作模式,使用上更安全。 新版夾取設計,在夾取產品時擁有更好的穩定性。 產品聯絡人劉志盛崇越科技股份有限公司部經理設備營二部TEL: (03)563-1717 ext.328sam.liu@topco-global.com