奈米壓印設備

奈米壓印技术（Nanoimprint lithography, NIL) 是一種適用於製造10nm-10um尺度微细結構的技術。以低成本，高產出的優勢被廣泛應用於光學，生物檢測，半導體製造等领域。如今，有越来越多来自於企業研發和學校研究方面對於NIL装置的購買需求。

SCIVAX公司开发了革命性的新概念應對NIL領域内不同工藝的需要，從超过1000個的委托案件得来的經驗讓我們可以给客户全方位的支持。從用於研發和少量生產的手動機型RubiQ®到適用於大量生產的自動化装置Dyad®，SCIVAX的設備可以满足客户不同的需求。

Features

• SCIVAX的NIL技術可以有效的將壓印過程中造成的结購失真减低至同類型產品的1/100，這種優勢在AR/VR等應用领域（例如AR波導的制造）有巨大的價值。
• SCIVAX的FLAN式設備可以有效將壓印成型中對基板的壓力减到最小，讓化合物半導體等易碎基板上的工藝可以順利實施。

• 通過添加不同的模组，SCIVAX提供了各種客制化設備满足客户的不同需要。

	RubiQ® 紧凑型尺寸：W500×D700×H1800(mm), UV光源特性：200mm W/cm2~@365nm 最大使用尺寸：φ100mm （不久的未来将扩展至φ200mm） SCIVAX 還提供各種客制化模组以滿足不同NIL的需求： 固化方式：UV / 加热 加壓方式：平行平板 / FLAN(空气加压，SCIVAX專利專數) 其他：自動化工程 / 自動离型 / 高效過滤网, 离子吹風 / 其他：自動化工程 / 自动動离型 / 高效過滤网, 离子吹風 / 高强度UV LED模组 / 高真空控制 (50Pa-)
	Dyad® 200 全自動化NIL机台,TAZMO与SCIVAX合作生產 功能包括：涂胶，烘烤，冷却，壓印复制，FOUP方式傳送