初田CO2自動滅火系統 CABINEX-EN2
崇越科技代理初田製作所 (HATSUTA) 的CABIN EX-EN2 是有效又安全，並適用於半導體與大型機床、各種設備上使用。再者，CO2釋放後不引起化學變化，無機械污染之自動滅火設備。
產品說明
應用上建議
| 應用製程 | 半導體暨光電製程設備 |
|---|---|
| 光罩製作(Reticle Photo mask) | • 光罩清洗相關設備 |
| 晶圓蝕刻(WaferEtching) |
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| 晶圓研磨製程(Wafer polishing) |
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| 光阻塗怖(Photo resist coating process) |
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| 離子植入製程(Oxide diffusion CVD ion implanting) |
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| 其它(Others) |
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| 工具機產業 |
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EN2型的產品特色與優點
- 日本消防設備和安全中心所認證的滅火系統，適用於半導體、光電產業和各種工具機機床的消防安全與保護。
- 無化學變化：無化學變化，無機械污染之自動滅火設備。
- 自動偵測滅火：全自動24小時全面監控，自動偵測滅火。
- 產品壽命長：CO2自動滅火系統之材質可選擇能抵抗天然鹼或酸的原料。
- Sensor信賴度高：多重自動偵測，可減少人為操作方面的疏失。
規格
| 滅火器類型 | 型號 | 呎寸 (mm) | 重量 | 滅火藥劑 | 藥劑量 |
|---|---|---|---|---|---|
| 一體型 | COX-3EN2 | 760*290*180 | 23kg | CO2 | 3.2kg |
| COX-5EN2 | 1160*4000*300 | 35kg | CO2 | 4.6kg | |
| COX-7EN2 | 920*320*215 | 37kg | CO2 | 6.8kg | |
| COX-14EN2 | 1160*4000*300 | 86kg | CO2 | 14.0kg | |
| COX-18EN2 | 1160*4000*300 | 90kg | CO2 | 18.0kg |
| 滅火器類型 | 型號 | 呎寸 (mm) | 重量 | 滅火藥劑 | 藥劑量 |
|---|---|---|---|---|---|
| 分體型 |
CPX-REN2 |
345*280*90 | 6kg | CO2 | n/a |
| CPX-UEN2 （崁入式/獨立是控制面板） |
220*340*130 | 6.3kg | CO2 | n/a | |
| COX-30ENA2 | 1755*400*330 | 140kg | CO2 | 30kg | |
| COX-45ENA2 | 1915*525*380 | 180kg | CO2 | 45kg |
| 滅火器類型 | 型號 | 呎寸 (mm) | 重量 | 滅火藥劑 | 藥劑量 |
|---|---|---|---|---|---|
| 分離型箱體 | COX-3ENS2 | 760*290*180 | 23kg | CO2 | 3.2kg |
| COX-5ENS2 | 920*320*215 | 34kg | CO2 | 4.6kg | |
| COX-7ENS2 | 920*320*215 | 84kg | CO2 | 6.8kg | |
| COX-14ENS2 | 1160*4000*300 | 86kg | CO2 | 14.0kg | |
| COX-18ENS2 | 1160*4000*300 | 88kg | CO2 | 18.0kg | |
| COX-30ENA2-S | 1755*400*330 | 140kg | CO2 | 30kg | |
| COX-45ENA2-S | 1915*525*380 | 180kg | CO2 | 45kg |
