TMA
三甲基鋁是一個化合物，化學式是Al2(CH3)6可以縮寫為Al2Me6、 (AlMe3)2或者 TMA。
產品說明
- 一種自燃的無色液體，在工業上是很重要的有機鋁化合物。
- 它的蒸氣散發到空氣中後會產生白煙（氧化鋁）。
- TMA 是有機金屬化學氣相沉積法（MOVPE）製造含鋁半導體（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有機金屬的重要來源。
三甲基鋁是一個化合物，化學式是Al2(CH3)6可以縮寫為Al2Me6、 (AlMe3)2或者 TMA。
